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减速机抖动的原因可能有以下几种：齿轮的啮合面接触不良和受力不均，导致齿轮轴向窜动频繁，发生轮齿断裂或齿圈断裂，以及轮辐裂纹等，引起减速机振动。高速轴和中速轴的滑键磨损出台，轴上的小齿轮联接螺栓有松动或断裂等引起减速机振动。伺服行星减速机的负载惯量过大，可更换大的伺服电机和驱动器。PID增益值过大时，易引起抖动，特别是加上D后尤为严重，因此尽量加大P，减少I，尽量不要加D。微型减速电机电气原因：电磁力：因磁通出现纵振荡导致，所以容易出现磁拉力，使减速机异常震动。气隙不均：安装或拆卸时气隙不均，使减速电机在运转时出现单边的磁拉力，出现震动。转子线圈损坏：减速电机的转子线圈损坏，在旋转时会出现受力不平衡导致异常震动。微型减速电机机械原因：电枢不平衡：转动时如平衡性差，会产生离心力，离心力会导致轴出产生旋转力，造成减速电机异常震动。轴承径向间隙过大：生产装配时如因轴承和轴承座装配不当导致减速机在旋转时会出现异常震动。支撑件变形：机座、端盖等配件在生产时误差过大或变形，会使轴承出现异常，导致减速电机震动。行星减速机电机基础不牢固，刚度不足或固定不牢固；风机叶片损坏，破坏了转子的机械平衡；机器轴弯曲或破裂。此外，增益值设置过高、启动时的相序不正确、负载惯量过大、空载运行正常但工作负载过大等也可能导致减速机抖动。